[10p-S5-1~14] 3.12 半導体光デバイス

14:15 〜 14:30

[10p-S5-4] O帯におけるFranz-Keldysh効果の評価に向けたSi上GeリッチSiGe層のCVD成長およびpin受光器応用

〇矢野 大輝¹、濵田 直希¹、小椋 亮弥¹、Piedra-Lorenzana Jose A¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、石川 靖彦¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：

シリコンゲルマニウム、Franz-Keldysh 効果、シリコン