[11a-A24-1~13] 3.6 レーザープロセシング

9:30 〜 9:45

[11a-A24-3] ガラスの直接レーザー加工におけるクラックと熱影響の関係

〇乙津 聡夫¹、遠藤 翼¹、田丸 博晴¹、小林 洋平¹ (1.東大)

キーワード：

ガラス、超短パルスレーザー

ガラス基板への穴あけ加工では、クラックフリーな高品質加工が求められる。本研究では、レーザー直接加工によるガラス穴あけ加工において、クラック数と熱影響との相関を確認した。発表では、ガラス内部の温度シミュレーションを交えて、その機構を議論する。