[11a-C212-1~12] 3.7 光計測技術・機器

11:30 〜 11:45

[11a-C212-10] 瞳分割偏光顕微鏡による金属加工表面テクスチャの観察

〇筒井 宣匡^1,2、岡原 孔明²、吉木 啓介¹、池上 浩¹ (1.高知工大総研 D-Future、2.株式会社デンケン)

キーワード：

瞳分割偏光技術、偏光モード変換器、ナノマシンビジョン

開発した瞳分割偏光顕微鏡を用いて金属加工表面を観察し，取得画像内の特徴と加工工程の経時変化の対応付けを試みた．同軸照明カメラに装着した複数セグメントから成るECB液晶素子の各複屈折率位相差を電圧印可により個別制御することで，瞳分割パターンを切替え感度に異方性を持たせることができる．実験では，加工進行方向に平行な加工痕に感度を有する瞳分割パターンを設定することで，経時変化する表面テクスチャを抽出できた．