講演情報
[11a-C212-7]距離情報を含む位相情報を直流電圧値として取得する本手法において，従来必要であった機械的走査を排除する3点位相付与回路を提案し距離情報を与える３点位相の同時計測に成功した．
〇中村 真音1、村上 颯汰1、塩田 達俊1 (1.埼玉大理工)
キーワード：
距離計測、光周波数コムシンセサイザ/アナライザ、ワンショット計測
製造ラインにおけるμm精度の全数検査実現に向け，光周波数コムシンセサイザ/アナライザを用いた二波長同時ヘテロダイン検波法を発展させた．従来不可欠であった参照光路走査を三点位相付与回路により排除し，距離情報を与える三点位相のワンショット同時計を実証した．本成果は，高精度かつ高速なインライン三次元計測の実現にに向けた有効な手法となる．