講演情報
[11a-E207-1]高eV/atomを有するガスクラスターイオンの衝突解離特性
〇西田 光希1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)
キーワード：
ガスクラスターイオンビーム
エッチングレート向上のため、一原子あたりのエネルギーが大きい（サイズが小さい）ガスクラスターイオンビーム（GCIB）が求められている。本研究では、飛行時間（TOF）法を用い、Ar-GCIBと窒素ガスの衝突に伴う崩壊過程を評価した。その結果、高eV/atomであるサイズ1000以下の小さなクラスターは衝突による崩壊が顕著に進む一方、サイズ1500付近では強度がほとんど変化しないことが明らかになった。