[11a-E207-1~7] CS.1 2.3 加速器技術・加速器質量分析・ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

10:45 〜 11:00

[11a-E207-4] MeV重イオン照射による二次イオンの内部エネルギー測定

〇西坂 光貴¹、水谷 優里¹、瀬木 利夫¹ (1.京大院工)

キーワード：

二次イオン質量分析法、MeVイオンビーム、温度計イオン

二次イオン質量分析法（SIMS）において一次イオンにMeVオーダーの加速エネルギーを与えた重イオンも用いることで、スパッタされる分子イオンの解離を抑制することができる。本研究では、数eV程度で単一の解離経路を辿るベンジルピリジニウムイオンBnPy⁺のMeV-SIMS測定によって、二次イオンの内部エネルギー分布を算出した。そして、二次イオンエネルギー状態の試料室真空度に対する依存性を分析した。