[11a-E207-1~7] CS.1 2.3 加速器技術・加速器質量分析・ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

11:00 〜 11:15

[11a-E207-5] 飛行時間型イオン散乱法を用いた元素分析技術の開発

〇阿保 智¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：

元素分析、イオン散乱法

集束イオンビームを用いた飛行時間型イオン散乱分析技術の開発状況について報告する。従来のToF-RBSに加え、ToF-ERD同時計測系の構築を進めており、軽元素を含む試料の三次元元素分析を目指している。本講演では同時計測系の評価結果および試料傾斜条件で観測された特徴的な散乱シグナルについて報告する。