[11a-E215-1~7] CS.10 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

9:00 〜 9:15

[11a-E215-1] 固液界面計測に向けたXAS-PEEM検出深さの実験的・数値的評価

〇竹内 雅耶¹、大河内 拓雄²、鈴木 哲² (1.大阪技術研、2.兵庫県大高度研)

キーワード：

光電子顕微鏡、固液界面計測、窒化シリコン

固液界面計測への応用を目的として、XAS-PEEMにおける電子信号の検出深さを実験的・数値的に評価した。Cr/SiNx試料に576 eVのX線を照射し、電子信号に対する試料電圧依存性を測定した結果、5 V以下の試料電圧でその強度が大きく減少した。このことから、PEEM像取得に寄与する信号は、X線吸収後に発生する数百eVのオージェ電子そのものではなく、それらの輸送過程で生成される数eV以下の低エネルギー二次電子に支配されることが示唆された。