[11a-E308-1~8] 17.1 成長・成膜・構造制御

9:15 〜 9:30

[11a-E308-2] Ar/H₂雰囲気下におけるNi上へのグラフェンのスパッタ製膜

〇菊名 吏穏^1,2、中野 武雄¹、村上 勝久²、長尾 昌善²、村田 博雅² (1.成蹊大、2.産総研)

キーワード：

グラフェン、スパッタリング