[11a-E308-1~8] 17.1 成長・成膜・構造制御

9:30 〜 9:45

[11a-E308-3] h-BN単結晶上グラフェン気相－固相成長に対する
オゾンクリーニング前処理の効果

〇横尾 春輝²、笹沼 碧²、川崎 登朝¹、神田 哲志²、坂本 文孝³、小林 慶裕³、渡邊 賢司⁴、谷口 尚⁴、根岸 良太^1,2,3 (1.東洋大理工、2.東洋大院理工、3.BN研究センター、4.NIMS)

キーワード：

グラフェン、ヘテロエピタキシャル成長