講演情報
[11a-E310-9]レーザー加工用大口径メタレンズの作製と高出力レーザー照射安定性評価
〇本橋 和也1、田中 秀忠1、川野 将太郎2、的場 みづほ2、櫻井 治之2、小西 邦昭2 (1.小糸製作所、2.東大院理)
キーワード：
メタレンズ、レーザー加工
メタレンズは高出力レーザーへの応用が期待されるが、センチメートルオーダーの口径での設計・製作と微細構造の照射耐久性が課題である。本研究では、直径22 mm、NA0.7の大口径メタレンズを開発し、940 nm、640 W/cm2のCW光を累積104分照射した。その結果、集光効率とMTFに有意な劣化はなく、高強度レーザーへの適用可能性を示した。