講演情報

[11a-PA6-12]Migration-Enhanced Epitaxy 法導入によるInGaN系ナノコラム均一性および再現性向上への取り組み

〇小口 眞大1、富樫 理恵1、岸野 克巳1 (1.上智大理工)

キーワード:

InGaN