2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[11a-PA6-20]
N極性AlN(000
1
)表面におけるステップ形成エネルギーの評価
〇田原 大樹
1
、秋山 亨
1,2
、河村 貴宏
1,2
(1.三重大院工、2.三重大ICSDF)
キーワード:
N極性AlN、第一原理計算、表面安定性
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