[11a-PB2-1~4] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[11a-PB2-1] ホール効果測定によるMMSを用いたSi(111)基板上への3C-SiC低温成長膜の電気的特性評価

〇國井 洋文¹、成田 克¹ (1.山形大院理工)

キーワード：

3C-SiC、ホール効果、双晶