[11a-PB3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[11a-PB3-3] PLD法で作製した強誘電ハフニア膜の構造－特性相関

〇(M2)石川 隼吉¹、進藤 沙也佳¹、菅 大介¹ (1.阪大院工)

キーワード：

強誘電性、ハフニア、パルスレーザー堆積法