講演情報
[11p-A13-2]レゾナントスキャナを用いたSiCの高速多光子励起フォトルミネッセンスイメージング
〇藤司 純一1、渡邊 隆志1、谷川 智之2 (1.株式会社ニコン、2.名城大学)
キーワード：
欠陥評価、多光子励起フォトルミネッセンス、イメージング
SiCのナノ秒スケールバンド端発光を利用し、レゾナントスキャナによる高速多光子励起PL（MPPL）イメージングを提案した。レゾナント走査はガルバノより約30倍高速で、短いピクセル滞在時間でも十分な信号が得られ、前画素残光の影響も見られなかった。約70μm四方の発光像を数十ミリ秒で取得でき、貫通転位に対応する暗点が明瞭に観察された。広視野PLと組み合わせることで、非破壊・高スループット欠陥評価に有望である。