[11p-A13-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

15:30 〜 15:45

[11p-A13-7] RFマグネトロンスパッタリング法により作製したSiC極薄膜のPL特性の膜厚依存性

〇東 慶哉¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：

SiC、SiC極薄膜、発光メカニズム