講演情報
[11p-A24-3]パルスレーザーアブレーション法における堆積特性の
パイプ径依存性に関する流体シミュレーション
〇花田 裕月1、青木 珠緒1、梅津 郁朗1 (1.甲南大)
キーワード：
パルスレーザーアブレーション法、球状ナノ粒子、慣性効果
前回ガス中パルスレーザーアブレーション法により生成したナノ粒子を、パイプとガスの流れによって基板上へ堆積させると、パイプ径を細くしたときには山状に堆積することを報告した。そこで、堆積のパイプ径依存性を解明するため、流体シミュレーションでガスの流れを解析した。パイプ径が小さいほど基板近傍で流速が減衰する傾向がみられたことから、パイプ径の違いが堆積形状に影響を及ぼしていると考えられる。