講演情報
[11p-E202-6]ステンレス基板上BaTiO3 圧電厚膜の機械的特性および振動発電特性に及ぼす熱処理温度の影響
〇川上 祥広1 (1.(公財)電磁研)
キーワード：
圧電厚膜、振動発電、熱処理
エアロゾルデポジション法で形成したBaTiO3膜は熱処理を行わないアズデポ膜においても閾値以上の分極処理電場を印加すると顕著に特性が向上することが確認されている。熱処理した膜においても分極処理条件を適正化することで特性向上可能か検討を行った。圧電特性は1000℃以上で熱処理した膜で最大値を示したが、800℃で熱処理したサンプルは分極処理電場の増加に伴い発電エネルギーが顕著に増加し優れた特性を示すことが確認された。