講演情報
[11p-E310-5]1580 nm Si共振型メタサーフェスの側壁角誤差と露光寸法補正
〇姜 遠昊1、前田 智弘1、外林 秀之1 (1.青学大理工)
キーワード：
メタサーフェス
1580 nm近傍に透過率ディップをもつa-Si共振単位セルを対象に，側壁角誤差が共振波長に与える影響をFDTD法で解析した。Dtop=640 nm固定時，α<0で長波長側，α>0で短波長側へシフトした。λdip=1580 nmに戻す露光CD補正量は，α=-10°で-83.1 nm，α=+10°で+95.9 nmであった。