2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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14:45 〜 15:00
[11p-N101-5]
MnドープGaN基板上に成長したGa, N極性GaNへのMn偏析の解析
〇吉田 成輝
1
、日野 眞生
1
、眞壁 勇夫
1
、牧山 剛三
1
、小谷 淳二
1
、中田 健
1
(1.住友電工)
キーワード:
GaN、MOVPE
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