講演情報

[11p-N101-5]MnドープGaN基板上に成長したGa, N極性GaNへのMn偏析の解析

〇吉田 成輝1、日野 眞生1、眞壁 勇夫1、牧山 剛三1、小谷 淳二1、中田 健1 (1.住友電工)

キーワード:

GaN、MOVPE