講演情報
[11p-N302-2]マイクロキャビティ構造を用いたマルチイオンイメージセンサの基礎検討
〇(M1)上野 樹生1、土井 英生1、上田 陸人1、崔 容俊1、高橋 一浩1、野田 俊彦1、澤田 和明1 (1.豊橋技科大)
キーワード：
マルチイオンイメージング、CMOSセンサ、レジスト構造体
脳細胞外イオンの動態可視化に向け、CMOSセンサ上への可塑化PVC感応膜の統合によるイメージセンサを開発してきたが、従来は微細パターニングが困難で単一イオン計測に留まっていた。本研究では静電型インクジェット技術を導入し、SU-8のマイクロキャビティ（30-50 µm角）内への複数感応膜の選択的塗り分け手法を提案した。評価の結果K+、Ca2+、pH各領域で実用的な応答を確認し、有効性を実証した。