[11p-N304-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

16:00 〜 16:15

[11p-N304-10] 65nm RF-SOI FoundryにおけるRF-LDMOS開発

〇中田 直樹¹、亀井 政幸¹、新藤 正夫¹、栗山 寛明¹、栗本 優一¹、福島 直¹、大野 重幸¹ (1.TPSCo)

キーワード：

65nm RF-SOI、RF-LDMOS、インテグレーションチップ