講演情報
[8a-A31-5]大型Fe:ZnSe結晶作製に向けた熱拡散ドープ条件の最適化
〇石原 駿仁1、松本 景子1、岡﨑 大樹1、桐田 勇利1、鈴木 杏奈1、安原 亮2、時田 茂樹1 (1.京大化研、2.核融合研)
キーワード：
Fe:ZnSe、熱拡散ドープ、中赤外
大型Fe:ZnSe結晶作製に向け、ZnSe基板上にFe薄膜を形成し、熱拡散ドープ条件を検討した。Fe薄膜厚の増加に伴いFe²⁺濃度が増加し、膜厚が濃度制御因子となることを示した。さらに、供給FeのうちFe²⁺として添加された割合を見かけの有効Fe割合として評価し、154 h条件では約50%である一方、長時間加熱では添加効率が低下することを明らかにした。これにより、本手法における濃度設計指針を得た。