[8a-B11-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:00 〜 9:15

[8a-B11-1] スパッタリングによるSnS₂ナノウォール薄膜の形成とリチウムイオン電池負極への応用

〇坂口 浩貴¹、山口 晃儀¹、一柳 涼太¹、内田 儀一郎²、平松 美根男¹ (1.名城大理工、2.名大院工)

キーワード：

リチウムイオン電池、スパッタリング