[8a-B11-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 | 2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[8a-B11-1~13]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2026年9月8日(火) 9:00 〜 12:30

B11 (工学部 B棟)

9:00 〜 9:15

[8a-B11-1]スパッタリングによるSnS₂ナノウォール薄膜の形成とリチウムイオン電池負極への応用

〇坂口浩貴¹、山口晃儀¹、一柳涼太¹、内田儀一郎²、平松美根男¹ (1.名城大理工、2.名大院工)

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[8a-B11-2]大気圧PECVD法により形成したSi厚膜の構造評価とリチウムイオン電池用負極への応用

〇広本恒輝¹、Farrel Dzaudan Naufal¹、榎本光希¹、大参宏昌¹、垣内弘章¹ (1.阪大院工)

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[8a-B11-3]Arベース高圧力プラズマ（760～300 Torr）を用いた透明基材用
反射防止コーティングプロセスの開発

〇小野結己¹、大西将生¹、Leapheng Uon¹、大参宏昌¹、垣内弘章¹ (1.阪大院工)

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[8a-B11-4]TiN膜高速形成用真空アーク蒸着装置における陰極点挙動に及ぼす圧力の影響

〇越智将伍¹、滝川浩史¹、服部貴大²、儀間弘樹² (1.豊橋技術科学大学、2.オーエスジー（株）)

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[8a-B11-5]レーザー誘起酸化WS₂/Au/TiO₂/Au多層薄膜の光触媒特性

〇(M2)井上朋也¹、川上烈生¹、柳谷伸一郎^1,2、コインカーパンカジ¹、古部昭広^1,2、中野由祟³、新部正人⁴ (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.中部大工、4.東京大物性研)

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[8a-B11-6]固気混相噴流を用いた膜形成に関するメカニズム解明

〇黒田涼太¹ (1.京セラ株式会社)

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[8a-B11-7]大気圧低温空気と酸素プラズマ支援アニーリングしたZnOナノ粒子の光触媒活性の比較

〇(M2)高木尚哉¹、川上烈生¹、柳谷伸一郎^1,2、中野由崇³、新部正人⁴ (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.中部大、4.東京大物性研)

11:00 〜 11:15

[8a-B11-8]2軸延伸ポリプロピレンフィルム同士の直接接合における大気圧プラズマ表面処理用ガス種の影響

〇(M1)齋藤直輝¹、小山拓海¹、松浦慶²、平栗健二¹、金杉和弥¹ (1.東京電機大学、2.春日電機株式会社)

11:15 〜 11:30

[8a-B11-9]導電性接着剤への大気圧プラズマ照射により発現する薄膜の特性評価

〇佐々木徹¹、前川朔輝¹、花見優太朗¹、Thai Van-Phuoc²、高橋一匡¹、菊池崇志¹ (1.長岡技科大、2.ホーチミン市技術大学)

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[8a-B11-10]R. F. プラズマ処理を施したPTFEのPL特性と接触角の関係

〇茂木良樹¹、黒木雄一郎¹ (1.サレジオ高専)

11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[8a-B11-11]大気圧マイクロプラズマジェットを用いたPET表面改質の周波数依存性

〇三重野太遥¹、白藤立¹、呉準席¹、八田章光² (1.大阪公立大工、2.高地工科大工)

12:00 〜 12:15奨励賞エントリー

[8a-B11-12]液中プラズマ処理した六方晶窒化ホウ素における反応サイトの定量

〇井上健一^1,2,3、高木直人²、伊藤剛仁²、清水禎樹³、伯田幸也³、伊藤耕三²、石川健治¹、堀勝¹、寺嶋和夫^2,3 (1.名大低温プラズマ科学研究センター、2.東大新領域、3.産総研)

12:15 〜 12:30奨励賞エントリー

[8a-B11-13]電子スピン共鳴法によるポリロタキサン/プラズマ表面改質六方晶窒化ホウ素コンポジット内フィラー配向評価

〇(D)長谷川瑠偉^1,3、井上健一²、伊藤剛仁¹、宗岡均¹、保田侑亮¹、桐原和大³、清水禎樹³、伯田幸也³、石川健治²、堀勝²、伊藤耕三¹、寺嶋和夫^1,3 (1.東京大学、2.名古屋大学、3.産業総合技術研究所)

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