[8a-B11-1~13] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[8a-B11-10] R. F. プラズマ処理を施したPTFEのPL特性と接触角の関係

〇茂木 良樹¹、黒木 雄一郎¹ (1.サレジオ高専)

キーワード：

フォトルミネッセンス、PTFE、プラズマ処理

PTFEは低接着性であるため、プラズマ処理による表面改質が検討されている。本研究では、Arガス圧を変化させてR.F.プラズマ処理を施した2種類のPTFEについて接触角を測定し、これまでに報告したPL特性との関係を調査した。その結果、PL強度が増加する処理条件において接触角の低下が確認され、PL測定がPTFE表面改質の非破壊・迅速な評価手法として応用できる可能性が示唆された。