講演情報
[8a-B11-9]導電性接着剤への大気圧プラズマ照射により発現する薄膜の特性評価
〇佐々木 徹1、前川 朔輝1、花見 優太朗1、Thai Van-Phuoc2、高橋 一匡1、菊池 崇志1 (1.長岡技科大、2.ホーチミン市技術大学)
キーワード：
大気圧プラズマ、導電性接着剤
シリコーン系導電性接着剤（SECAs）は金属フィラーの酸化で導電性が経時劣化する。本研究では大気圧プラズマ照射により硬化と同時に表面へSiOₓCᵧ薄膜を形成した。膜厚は照射時間依存（2分で810 nm）で、Si³⁺・Si⁴⁺主体、接触角120°超の疎水性を示し、導電性は変化しなかった。強酸中でも導電性接着剤の抵抗率は安定し、優れた酸化抵抗を確認した。