講演情報
[8a-B31-2]有機単分子膜を粘着層とするAu薄膜の熱安定性と欠陥形成
〇服部 吉晃1、張 益仁1、北村 雅季1 (1.神戸大院工)
キーワード：
有機単分子膜
厚さ1 nm程度の極薄膜を光学顕微鏡で観察する手法として，熱酸化膜付きSi基板上にAu薄膜を形成した多層基板が有効である。しかし，Au薄膜形成に一般的に用いられるCr粘着層は，熱安定性や光学設計の面で課題がある。著者らはこれまでに，3-mercaptopropyltrimethoxysilane(MPTMS)を原料とした有機単分子膜を粘着層として用いることで，光学特性を維持したまま250℃以上の耐熱性を実現した。これまでの研究で、その熱特性として，加熱に伴いAu薄膜には多角形状の穴が形成されることが明らかになっていたが詳細は分かっていない。そこで本研究では，MPTMS上に形成したAu薄膜の熱安定性と欠陥形成挙動を調査した。