講演情報
[8a-B31-7]液相法と真空紫外光照射を利用した酸化インジウム薄膜における研究
〇(M1)田中 ひかり1、長岡 歩2、宋 侶洋1,3、硯里 善幸1,3 (1.山形大院理工、2.山形大院有機材料シス、3.山形大 INOEL)
キーワード：
酸化インジウム、液相法、真空紫外光
高い透過率と優れた電気特性を持つ酸化インジウム系材料は主に真空プロセスで成膜される一方で、低温・液相法では十分な電気特性が得られないといった課題がある。そこで本研究では、液相法で作製した酸化インジウム前駆体に対し、真空紫外（VUV）光照射による光緻密化反応の基礎的検討を行った。結果として、VUV光の照射に伴う膜厚の減少と平均屈折率の増加が認められ、VUV光反応が進行していることを確認した。