[8a-E201-1~11] 12.5 有機・ペロブスカイト・ハイブリッド太陽電池

9:00 〜 9:15

[8a-E201-1] ペロブスカイト太陽電池への適用に向けた低ダメージITOスパッタ膜の成膜条件の検証

〇岩田 寛¹、薄田 龍輝¹、齋藤 直¹、宮坂 力¹、池上 和志¹ (1.桐蔭横浜大学)

キーワード：

太陽電池、ペロブスカイト、低ダメージスパッタ成膜

ペロブスカイト太陽電池における現在の課題として、長寿命化と光透過性の付与が挙げられる。ITOは透明電極材料として有望視されているが、ペロブスカイト層やホール輸送層への直接成膜は、下地層にダメージを与え、発電効率を大きく低下させることが知られている。そこで本研究では、低ダメージスパッタ法を用いて成膜したITO膜のデバイスへの適用効果を、主に光照射耐久性と耐熱性の観点から評価し、最適な条件検討を進めている。