講演情報
[8a-E201-11]ペロブスカイト層上SnO2電子輸送層の直接スパッタ成膜技術の開発
〇徳永 道洸1、西村 昂人1 (1.科学大工)
キーワード：
ペロブスカイト太陽電池、スパッタリング、電子輸送層
逆構造ペロブスカイト太陽電池の安定性向上のため、無機SnO2電子輸送層（ETL）の直接スパッタ成膜を検討した。課題である界面ダメージを評価するため、プラズマ出力とターゲット-基板（TS）間距離を変化させてデバイス特性への影響を調査した。最適化により最高PCE11.8%を得ており、当日はSnO2膜の各種物性値や界面特性に基づき、デバイス動作原理について詳細に議論する。