講演情報
[8a-E204-3]Silicon-on-insulator基板上の超伝導トンネル接合検出器によるX線の検出
〇志岐 成友1、藤井 剛1 (1.産総研)
キーワード：
超伝導検出器、SOI、フォノン
我々は、超伝導トンネル接合検出器にシリコンピクセル吸収体を組み合わせた、高感度・高分解能のX線検出器の実現を目指している。将来にSilicon-on-insulator(SOI)基板のBOX層をエッチストップとして用いることを視野に、SOI基板を用いてSTJを試作し、Al-K線(1.5keV)を照射して評価を行った。デバイス層を吸収体としたX線検出に成功し、高いフォノン収集効率を実現した。