講演情報
[8a-N102-6]大規模言語モデルを用いた分光エリプソメトリーにおける解析の自動化
〇中谷 仁1 (1.(株)堀場製作所)
キーワード：
エリプソメトリー、大規模言語モデル
分光エリプソメトリーは薄膜の光学特性を高精度に評価できるが、解析に専門知識を要する。解析の自動化が報告されているが、光学モデルを用いないため材料固有の光学応答を扱えない。本研究では、大規模言語モデルを用いて測定条件と材料情報から光学モデルを構築し、機械学習とフィッティングによりパラメータを推定する手法を提案した。Si基板上5種の薄膜で、熟練者による解析結果と比較して相対差0.5%以下を達成した。