2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)18 インフォマティクス応用：18.3 計測インフォマティクス

[8a-N102-1~11]18.3 計測インフォマティクス

2026年9月8日(火) 9:00 〜 12:00
N102 (総合教育棟 N棟)
9:00 〜 9:15

[8a-N102-1]深層学習に基づく光学干渉非接触温度測定法（OICT）に向けたシリコンウェハ表面温度分布のリアルタイム測定に関する研究

〇Yu Jiawen1、小野 遥夢1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先進理工)
9:15 〜 9:30

[8a-N102-2]片面測定データを用いたウエハ両面基準平面度の実用的推定

〇高石 将輝1、藤村 侑1、Kevin Operiano1、前田 進1、澤田 貴央2、桑原 啓2 (1.アイクリスタル、2.神津精機)
9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[8a-N102-3]深層学習による半導体光学物性の解析：分光エリプソメトリーと反射/透過測定法のポテンシャル比較

〇黒川 直暉1、馬場 彬大1、西永 慈郎2、石塚 尚吾2、鯉田 崇2、Hilfiker James3、藤原 裕之1 (1.岐阜大、2.産総研、3.J.A. Woollam Co., Inc.)
9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[8a-N102-4]転移学習による深層学習エリプソメトリー解析空間拡張: 異種基板上薄膜に対する光学定数・薄膜構造の高速自動解析

〇五十嵐 柚希1、山本 祐輝1、岩山 廉1、黒川 直暉1、馬場 彬大1、西永 慈郎2、石塚 尚吾2、Hilfiker James3、藤原 裕之1 (1.岐阜大、2.産総研、3.J.A. Woollam Co., Inc.)
10:00 〜 10:15

[8a-N102-5]ベイズ分光エリプソメトリーによる酸化物多層膜の光学情報推定

マドゥラ ロジー1、〇岩満 一功1、髙橋 崇典1、赤瀬 善太郎1、浦岡 行治1、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大)
10:15 〜 10:30

[8a-N102-6]大規模言語モデルを用いた分光エリプソメトリーにおける解析の自動化

〇中谷 仁1 (1.(株)堀場製作所)
10:45 〜 11:00

[8a-N102-7]高輝度X線源を用いたX線吸収分光装置のアプリケーション

〇大垣 智巳1 (1.キヤノンMJ)
11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[8a-N102-8]機械学習によるXAFSスペクトルからの分子構造推定と実験データを用いたモデル適応

〇(D)藤方 悠1,2、溝口 照康1 (1.東大院工、2.三菱ケミカル株式会社)
11:15 〜 11:30

[8a-N102-9]結晶構造プロトタイプを活用した粉末X線回折の相同定手法の開発

〇伊藤 優成1,2、西堀 結貴1,2、小野 寛太1,2 (1.大阪大工、2.阪大OTRI)
11:30 〜 11:45英語発表

[8a-N102-10]Geometric Stability as a Reliability Criterion for AI-Assisted Spectroscopic Inference: From Mössbauer Spectroscopy to Geometric Identifiability Theory

〇Sonia Sharmin1, Chiharu Mitsumata1, Eiji Kita1, Hideto Yanagihara1 (1.Appl. Phys., Sci. & Eng., Univ. Tsukuba)
11:45 〜 12:00

[8a-N102-11]半導体ガスセンサを用いた火山ガスモニタリングデータの 主成分分析による特徴抽出

〇山田 幸明1、橋新 剛2、小林 一博3 (1.熊大院自、2.熊大院先端、3.熊本県技大)
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