[8a-N302-1~11] 18.1 マテリアルズインフォマティクス

11:00 〜 11:15

[8a-N302-8] プラズマ・材料情報科学に基づく物理中間特徴量生成によるプラズマプロセス予測

〇鎌滝 晋礼¹、Fitriani Sukma²、長嶺 一輝^1,2、黒崎 陽晴¹、政本 元^1,2、山下 大輔¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.九大IMI)

キーワード：

半導体プラズマプロセス、プロセスインフォマティクス、物理特徴量設計