[8a-PA1-1~31] 1 応用物理学一般（ポスター）

[8a-PA1-20] アニーリングおよびUV照射を施したPADCの低濃度エッチング条件の検討

〇徳田 隼之助¹、石川 一平¹、清原 修二¹、内海 淳志¹ (1.舞鶴高専)

キーワード：

放射線教育

本研究では，アニーリング処理およびUV照射を施した固体飛跡検出器PADCに対し，劇物指定に該当しない5 wt% NaOH水溶液を用いた低濃度エッチングを行った．その結果，エッチピット径は20 minで観測可能な大きさである10 µmに到達した．これは未処理PADCを30 wt% NaOH水溶液でエッチングした場合と同等であり，エッチング性能を維持したまま安全性を向上できる可能性が示された．