一般セッション(ポスター講演)1 応用物理学一般:1 応用物理学一般(ポスター)
[8a-PA1-1~31]1 応用物理学一般(ポスター)
2026年9月8日(火) 9:00 〜 10:30
PA1 (第1体育館)
原子層堆積(ALD)や原子層エッチング(ALE)をはじめとする原子層プロセス(ALP)について幅広く議論するため、今年度新たに発足した研究会です。今回,初めての研究会セッションを開催します。午前の部では,酸化物薄膜のALDを中心に、プラズマALD、高アスペクト比・三次元構造における原子層プロセスなどを取り上げ、分科会内招待講演2件を含む計9件の講演を予定しています。
〇(M1)小池 俊輔1、武藤 真和2、栗田 玲3、小林 和也1 (1.日本工大院、2.名工大院、3.都立大院)
〇石川 舜典1、中村 太翼1、藤井 達也1、鈴木 庸久1、大橋 雄二1 (1.秋田県立大学)
金津 晶士1、小島 汐織2、小島 伊織3、〇小島 洋一郎1 (1.北海道科学大、2.札幌市立大、3.苫小牧高専)
〇(M1)小玉 凜空1、神保 孔明1、武藤 真和2、栗田 玲3、小林 和也1 (1.日工大院、2.名工大院、3.都立大院)
〇(M1)入來院 大舜1、武藤 真和2、小林 和也1 (1.日工大院、2.名工大院)
〇(B)榎本 雄太1、奈良 圭司郎1、武藤 真和2、栗田 玲3、小林 和也1 (1.日工大工、2.名工大工、3.都立大理)
〇(B)斉藤 希空1、小林 和也1 (1.日本工業大学)
〇林 大翔1、鈴木 美璃1、山田 怜矢1、大平 將太1、原田 建治1 (1.北見工大)
〇都木 克之1、中村 伊吹1、二川 雅登1 (1.静大工)
〇笠島 愛莉1、羽渕 仁恵1、白木 英二1 (1.岐阜高専)
〇長谷川 智晴1、土田 怜1 (1.福井工業高等専門学校)
〇小川 隼1、石川 一平1、清原 修二1、内海 淳志1 (1.舞鶴高専)
〇近藤 慧始1、石川 一平1、清原 修二1、内海 淳志1 (1.舞鶴高専)
〇徳田 隼之助1、石川 一平1、清原 修二1、内海 淳志1 (1.舞鶴高専)
田邉 真子1、〇内海 淳志1、蘆田 湧一1、石川 一平1、清原 修二1 (1.舞鶴高専)
〇(B)松本 透弥1、田中 浩也1、松友 真哉1、福田 京也1 (1.新居浜高専)
〇(B)真鍋 雄耶1、田中 浩也1、松友 真哉1、福田 京也1 (1.新居浜高専)
〇(B)長野 楓大1、黒川 達馬1、眞鍋 知久1、松友 真哉1 (1.新居浜高専)
〇高下 航1、山下 真桜1、知久 眞鍋1、真哉 松友1 (1.新居浜工業高等専門学校)
〇(B)眞弓 蒼空1、成田 海都1、野口 琉紀哉1、辻 琢人1 (1.鈴鹿高専)
〇平 智幸1、井戸川 槙之介2、松原 英一1、篁 耕司1 (1.旭川高専、2.釧路高専)
〇日置 怜那1、笠島 愛莉1、飯田 民夫1 (1.岐阜高専)
〇稲垣 友隆1、兼田 幹大1、大西 紘平1 (1.近大)