講演情報
[8a-PA2-19]低エネルギーX線イメージングに向けたGaN半導体検出器の開発
〇新村 勇葵1、都木 克之3、加瀬 裕貴2,4、青木 徹1,2,4、堀切 文正5、太田 博5、西村 智朗5、Lee Hyun-Jae6、Kim Sunny6、Shin Joung-Hun6 (1.静岡大院総合情報、2.静岡大情、3.静岡大工、4.静岡大電子研、5.法政大イオン研、6.BTOZ Co.LTD)
キーワード：
放射線検出器、窒化ガリウム
本研究では低エネルギーX線検出器材料としてGaNに着目し、炭素濃度の異なるMSM型検出器を作製した。評価の結果、10^-9 A程度の低暗電流と100 V印加時の安定動作を確認した。また、高炭素濃度試料ではX線応答が速く、イメージングセンサ応用に有効である可能性が示された。