講演情報
[8a-PA3-2]走査電子顕微鏡EELSに向けた熱電子銃のエネルギー幅評価
〇田尻 優斗1、柳本 宗達1、三宮 工1 (1.科学大物質理工)
キーワード：
走査電子顕微鏡、エネルギー分布、電子エネルギー損失分光法
電子エネルギー損失分光法（EELS）は、通常TEMやSTEMに導入されるが、低加速電圧を用いてサンプルとの高い相互作用を利用した、SEMベースのEELSも実施されている。本研究では電圧印加によるフィルタリングでエネルギースペクトルを計測した。エネルギー幅の電子線電流依存性を評価するため、LaB6エミッタのフィラメント電流及びそれより下段の磁場レンズ強度を各々変えて、エネルギー幅測定を実施した。