[8a-PA3-1~13] 7 ビーム応用（ポスター）

[8a-PA3-3] HNO₃水溶液に対するMoN薄膜のウェットエッチング特性

〇(M1)出口 雄一朗¹、藤澤 悠太¹、柴田 涼平¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大工)

キーワード：

BEUV、極端紫外線、多層膜ミラー

次世代EUVミラーへの応用が期待されるMoN薄膜の、原子スケール形状制御に向けた化学エッチング特性を評価した。反応性スパッタリングで成膜したMoN薄膜およびMo単層膜を、HNO3溶液を用いて自動エッチングシステムで観察した。その結果、Mo単層膜は表面に酸化層が生成された後に緩やかに溶解するのに対し、MoN薄膜は最上層が直接エッチング液に溶解することを確認し、両者の溶解挙動の違いを明らかにした。