講演情報
[8a-PB1-33]円弧型IDTを用いた弾性表面波デバイスの性能評価
〇中谷 一稀1、近藤 淳1 (1.静岡大学)
キーワード：
弾性表面波
弾性表面波(SAW)による音響ストリーミングによって超音波洗浄を行う装置の実現に向け，本研究では円弧型IDTの性能評価を行った結果について報告する．音響ストリーミング速度を測定を行ったところ，円弧型IDTは平行型IDTに比べて音響ストリーミング速度が小さくなった．また，音響ストリーミングの広がり方を観察したところ，デバイスからの距離が長くなるにつれ，音響ストリーミングが横に広がる様子が観察された．