講演情報
[8a-PB1-4]陽極酸化時の温度がアルミナ・ナノホール配列の規則化に与える影響
〇(M2)松井 慧士郎1 (1.関西大院理工)
キーワード：
陽極酸化
LSIやMEMSセンサには、3次元微細構造が利用されており、高機能化に伴いさらなる高アスペクト比化が求められている。本研究では、自己組織的に数十～数百nmのナノホールを形成できる陽極酸化アルミナ（AAO）に着目した。一方で、AAOのナノホールが規則的に配列する条件は限られている。そこで、陽極酸化時の電解液温度を変化させ、規則配列形成に及ぼす影響を調査し、新たな自己組織化条件の検討を行う。