[8a-PB3-1~5] 13.3 絶縁膜技術

[8a-PB3-4] AlScN/Al₂O₃/IGO 積層構造における閾値電圧変調の特異挙動

〇林 瑠唯¹、三谷 祐一郎¹ (1.東京都市大学)

キーワード：

半導体メモリ、強誘電体、酸化物半導体