講演情報
[8a-S2-4]窒化シリコン導波路リング共振器における不揮発・可逆共振波長制御
〇前神 有里子1、小笠原 颯平1,2、高 磊1、成島 利弘1、土澤 泰1、河島 整1、山本 宗継1、小野 円佳2、コン グアンウェイ1、山田 浩治1 (1.産総研、2.東北大院)
キーワード：
窒化シリコン、リング共振器、不揮発性
プラズマ化学気相堆積法（PECVD）で成膜した窒化シリコン（SiN）導波路型リング共振器を作製し、SiN中のダングリングボンドの荷電状態変化に伴う屈折率変化を利用した、不揮発かつ可逆な共振波長制御を実証した。