[8a-S5-1~11] 3.6 レーザープロセシング

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[8a-S5-8] フェムト秒レーザー照射によるシリコン上LIPSSにおける分岐構造形成のその場観察

〇(M1)神原 晴也¹、千種 晃平¹、仲子 宙輝¹、岡田 達也¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成)

キーワード：

レーザー誘起表面周期構造 (LIPSS)、フェムト秒レーザー、その場観察

フェムト秒レーザー照射によって形成されるレーザー誘起表面周期構造（LIPSS）では、形成過程において条件によっては局所的な溝幅の増大や分岐が生じる。このような分岐構造は均一な周期構造を形成するうえで重要な問題である。本研究では、Si表面におけるLIPSS形成過程をその場SEM観察により追跡し、パルス間隔が分岐形成および LIPSSの秩序性に及ぼす影響を調査した。