[8a-S5-1~11] 3.6 レーザープロセシング

11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[8a-S5-9] 超短パルスレーザー照射によるFe/Cu/Ni積層薄膜の合金形成

〇(M1)米澤 侑真¹、中川 功士¹、高林 圭佑²、遠藤 翼²、山口 誠³、岡田 達也¹、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成、2.東大物性研、3.秋田大理工)

キーワード：

超短パルスレーザー、レーザー合金

本研究では互いに固溶せず、強い分離傾向を示すFeとCuに、Niを加えた三元系合金の形成を目標とし、超短パルスレーザー照射によるFe/Cu/Ni積層薄膜への影響について調査した。基板上にFe, Cu, Niの順に蒸着し、基板側からレーザーを照射した。照射後、試料に透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー分散型X線分光法による元素マッピング像から元素の分布を観察し、制限視野回折法による回折像の分析から元素の候補を調査した。