[8p-A13-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

14:15 〜 14:30

[8p-A13-2] DCスパッタFe層の酸化により形成したα-Fe₂O₃薄膜へのSi添加効果

〇森本 YUTA 裕太¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：

α-Fe2O3、屋内用光発電素子、同時スパッタリング