[8p-B11-1~16] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

18:00 〜 18:15

[8p-B11-15] 構造特徴量に基づく低圧ICPコイル設計のサロゲート学習と最適化

〇川人 大希¹、林 航希¹、斉藤 友貴哉¹、茂木 弘典¹ (1.東京エレクトロン株式会社)

キーワード：

機械学習、低圧プラズマ

ICP用RFコイルの配置を空間構造特徴量として表現し，深層学習によって二次元プラズマ場を予測するサロゲートモデルを構築した。電子密度均一化と密度維持を両立するコイル候補探索への適用結果も報告する