講演情報

18:00 〜 18:15

[8p-B11-15]構造特徴量に基づく低圧ICPコイル設計のサロゲート学習と最適化

〇川人大希¹、林航希¹、斉藤友貴哉¹、茂木弘典¹ (1.東京エレクトロン株式会社)

機械学習、低圧プラズマ

ICP用RFコイルの配置を空間構造特徴量として表現し，深層学習によって二次元プラズマ場を予測するサロゲートモデルを構築した。電子密度均一化と密度維持を両立するコイル候補探索への適用結果も報告する