講演情報
[8p-C309-15]自己ドープ型PEDOTを用いたカフ型多点電極の作製
〇後藤 東一郎1,2、酒井 洸児1,2、水野 陽介1,2、大友 泰輝1,2、田中 あや1,2 (1.NTT物性基礎研、2.NTT BMC)
キーワード：
PEDOT、自己組立、パリレン
パリレン二層間に自己ドープ型PEDOT(S-PEDOT)の配線をウェットパターニングしたカフ型電極薄膜の作製と、立体形状への自己組立を検討した。S-PEDOTは次亜塩素酸ナトリウムを用いたウェットエッチングにより、下地のパリレンを損傷することなく10umオーダーの精度でパターニング可能であった。また、薄膜下の犠牲層溶解による自己組立を経て立体形状化に成功した。